恒歌半導(dǎo)體工藝氣體IGS面板專用過濾器

簡要描述：IGS面板氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計，過濾精度高達(dá)0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強度高，與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應(yīng)及超高純度氣棒，在半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2024-11-11
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燒結(jié)不銹鋼濾芯

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詳細(xì)介紹

用于半導(dǎo)體應(yīng)用IGS面板專用過濾器

產(chǎn)品介紹

IGS面板專用過濾器，用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，兼容C型和W型多種密封規(guī) 格，實現(xiàn)0.003μm級高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量，適助力設(shè)備升級無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造，堅固耐用，緊湊體型融合全焊接與機械密封技術(shù)。采用符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的表面安裝元件，便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計升級，安裝維護便捷高效。

產(chǎn)品特點

?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)，可快速排氣

?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

?減少工藝腔體排氣時的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

?100%完整性測試通過

?100%氦氣泄露檢測通過

?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

?防止微粒混入，幫助提高產(chǎn)品合格率

?可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計