超純氣流微粒三通一體式過濾器

簡要描述：工藝氣體專用過濾器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設(shè)計。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆?；蛘叽灯鸸杵??？啥ㄖ苹O(shè)計，靈活適應各類安裝空間。

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2024-11-11
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燒結(jié)不銹鋼濾芯

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用于半導體應用的高純半導體工藝氣體過濾器

產(chǎn)品介紹

工藝氣體專用過濾器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設(shè)計。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設(shè)計，靈活適應各類安裝空間。

產(chǎn)品特點

?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)，可快速排氣

?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

?減少工藝腔體排氣時的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

?100%完整性測試通過

?100%氦氣泄露檢測通過

?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

?防止微?；烊?，幫助提高產(chǎn)品合格率

?可根據(jù)安裝空間進行設(shè)計